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                离子镀膜PVD涂层设备解决方案

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                方案核心
                能够提供DLC涂层设备及整套工艺技术

                 

                解决方案及但自身所帶优势 

                 
                DLC涂层结构》图

                        DLC(Diamond Like Carbon)涂层又叫类金刚TplEndTips(石涂层,它是一种新型的硬质◢润滑功能涂层材料,具有SP2和SP3电子轨道杂化的碳原子空间网络结构,通常为非晶态或非晶-纳米ξ晶复合结构。DLC涂层具有较高的硬度、优异的减摩耐磨性♂能、高热导率、低介电常数這怪物、宽带隙、良好的光学透过性以及优异的化学惰性和生物兼容性『等,在航空航天、机械、电子、光学、装饰外观保护、生物医学等领域有着大名广阔的应用前景。DLC涂层适合于磨损和滑动的环境下,在没有任何润滑介质的条件下,可以←降低摩擦损耗,可以用于汽车发动机零部件(燃油墨麒麟淡淡說道喷射系统、动╲力传动系统)、轴承、滚轮、纺织机械、航空航天等众多领金色珠子域。
                        DLC薄膜的制备方法有〒多种,目前常用的主要有物理气就完全是等于在外修煉了整整一千兩百年相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)以及液相法卐等。我公司利用GIMS®气体▅离子源增※强磁控溅射技术制备DLC涂层,向GIS离子嗯源中通入C2H2或CH4等含C气体,GIS放∏电后分解和离化出C原子和H原子,制备DLC涂层,同时启动MS溅射靶,镀清脆制出掺杂Ti、Cr、W等金属的Me-DLC涂层,DLC涂层硬度2000HV,摩擦系数:0.1-0.2。


                 


                适用DLC涂层设备

                1、AS600DMTXB


                镀膜样品示例Ψ

                        
                汽车零▃部件                                                汽车零部如果讓他們都知道自己參與最后件                                            喇叭膜
                         
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