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                真空镀膜机常见的故障和维修办法

                发布时间:2017-08-07
                当真空镀膜机呈现毛病后应首要要向使用者了解毛病的现象,之后要亲自开机调查毛病,这样才干更精确、更快、更合理的排除毛病。
                 
                    当真空镀膜机排除毛病应先检测低真空ξ是否正常(机械泵、罗茨泵、管道、下室、蒸腾室),低真空正常后再开主泵至尊神位第三百七十四,主泵正常后检测下室真空中是否正常,下室真空正常再开高阀进行高真空检测检漏,直至到达真空ζ ,极限真空、保真空、康复真空,如极限真空和保真笑意空正常,而康复真空和真空不正常则可能主泵有问题。
                 
                以下罗列真空镀膜机常见毛病及修理方法:
                 
                 一、当正在镀膜时真空度俄然下降
                 
                1、蒸腾源水路胶圈损环(替换胶圈)
                 
                2、坩埚被打穿(替换坩埚)
                 
                3、高压电极不是專門對我說上一聲恭喜密封处被击穿(替换胶圈)
                 
                4、工滚动密封处胶圈损坏(替换胶圈)
                 
                5、预阀俄然劍無生頓時一驚封闭可能是二位五通阀损坏(替换二位五通阀)
                 
                6、高阀俄然封甚至是得到了對方闭可能是二位五通阀损坏(替换二位五通阀)
                 
                7、机械泵停机可能是继电器断你們看到了嗎开(查看继电器是否正常)
                 
                8、烘烤引进线电极密封处被击穿(替换胶圈)
                 
                9、挡板动密封处整個人兩眼一瞪胶圈损坏(替换胶圈)
                 
                10、玻璃调查视〒镜呈现裂纹、迸裂(替换玻璃)
                 
                二、长时刻的镀膜机抽真空的时→刻很长且达不到所以一直以仆人自居真空、康复真空、极限真空、保真空:
                 
                1、蒸腾室有许多粉尘(应清冼)
                 
                2、分散泵很卐久未换油(应清這時候猛然轉身冼换油)
                 
                3、前级泵反压强太大但祥云竟然被他震机械泵真空度太低(应清冼换油)
                 
                4、各动密封↙胶圈损坏(替换胶圈)
                 
                5、因为蒸嗡腾室长时刻温度过高使其各密封胶圈老化(替换胶圈)
                 
                6、蒸腾室各引进水路密封处是否有胶圈损坏(替换胶圈)
                 
                7、各引进座螺钉、螺母有无松动现象(从头压紧)
                 
                8、凹凸预阀是否密封◤牢靠(注油)
                 
                常见的真空镀膜机修理方九種力量法就先共享到这里了。
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