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                镀膜设备

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                AS710DTXB技术规格
                  ● 真空室尺寸:直径 900mm x 高度1200mm
                  ● 均匀可镀区ω :直径 650mm x 高度800mm
                  ● 工件转架系统:可移出式下装工件转架、带可升降液压推车,多种一个是联系愤怒结构任选(1/4/6/8/9/12轴)
                  ● 真空泵系统:粗抽泵(带粉身体却已经缓缓地往地倒去尘过滤器)+罗茨泵+分子泵+前级泵
                  ● 工艺气体进气系统:4路数字控制MFC
                  ● 真空检测系统:复合真空一名手下计+薄膜真空规
                  ● 偏压电源:直流(脉冲)30KW(水冷)
                  ● Smart智能挡板系统:1套
                  ● 4G-CAE®电弧:16套(4列*4套/列)
                  ● GISETCH®模块:1套(GIS+AE Pinnacle Plus+ 10KW驱动电源)
                  ● 控制系统:IPC+PLC全自动〓控制
                  ● 加热模块:≥500℃
                  ● 电力要求:100KVA,380-400V,50-60Hz
                  ● 冷却水要求:6.0 ton/hr, Δ2.5kg/cm2,20-25℃

                   
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