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                镀膜@机设备

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                真空室尺寸 L1000mm * H1000mm * W700mm
                均匀可镀区 Ø600mm * 700mm
                极限真空他还没有看到紫瞳少nv度 3.0*10-4Pa
                压升率 0.33Pa/hr(常态)
                冷却水 5ton/hr
                占据空间 4.0*3.0*3.5m3
                真空室 日韩304不锈钢,双层内衬,五年质保
                抽气系统 Leybold扩散泵+Leybold粗抽泵+罗茨泵
                真空检测 SKY90复合真空计
                流量控制 七星华创7S-CS200数字流量计/Brooks/MKS/AE
                转架 大网笼带一次自转和小网笼带二次自转,保证工件之间话语更加无磕碰接触
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                轰击电源 最高可达3000V
                加热系统 最高300度,2根热电怎么我偶监测
                冷却已经不能称之家伙了水循环系统 配日本SMC水流开关,智能控制
                电气元件 日◣本欧姆龙PLC、端子、施耐德等空开、接触器

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